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反射率测量系统在薄膜涂层上的应用
测试系统搭建如上图
1. 左边是宽光谱卤钨灯350-2500nm光源，
2. 右侧是90度反射式探头支架带准直镜
3. 中间是采用日本进口滨松探测器的光谱仪器，波长范围350-1050nm
4. 搭配电脑，数据通过USB采集
测试原理：
薄膜反射的光子个数
反射率 R = -------------------------------------------- x 100%
射入到薄膜上的光子个数
测试过程
1. 关闭光源，设置800ms曝光时间，放置白板，采集设备电子噪声，
2. 打开光源，设置800ms曝光时间，放置白板，在反射探头上采集反射的光子个数
3. 放置背板或者黑布，在反射探头上采集黑布的暗噪声，放黑布的原因是因为，我们要测试黑布反射的光子数，这样方便在后面计算的时候扣除黑布反射的光子数，
4. 在黑布上放置被测薄膜，在反射探头上测量，采集被薄膜的反射光谱
上面的蓝色是薄膜和黑布自然摆放的反射率
下面的绿色是把薄膜和黑布压紧后的反射率
结论：
1. 反射率0.1% - 0.2%
2. 黑色胶片反射率过高，影响真实反射率测试，所以采用反射率更低的黑色绒布放在薄膜下面。
3. 真实产线上，不可能在薄膜下面放黑绒布，而且从测试结果看，薄膜和黑绒布压紧后的反射率是相差很大的，所以，在薄膜产线上测反射率的方案很难实现。
另外：膜厚测量
对薄膜进行了膜厚测量，测出的膜厚基本上在80-85um。
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